Weltweit feiern alle Halbleiterchips dieses Jahr ein Jubiläum der besonderen Art: ein Gesetz, das nur für sie gilt, wird 50. Die Rede ist vom Mooreschen Gesetz welches besagt, dass sich die Komplexität (manchmal auch Integrationsdichte) integrierter Schaltkreise alle zwei Jahre regelmäßig verdoppelt. Parallel und fast genauso ungestüm entwickelte sich auch die optische Messtechnik auf der Basis chromatisch-konfokaler Technologien. Dieser Bericht beschreibt Technologie und Ergebnisse der Messtechnik für kleinste Strukturen im Mikrometerbereich.