Ein neuer Sensor mit koaxialem Strahlengang ermöglicht die berührungslose, hochauflösende Messung der Dicke transparenter Schichten in einem Bereich von 2 bis 250 μm. Mit hohen Messraten kann der Sensor auch für ortsaufgelöste Schichtdickenmessungen eingesetzt werden. An Schichtsystemen kann in einem Durchgang simultan die Dicke mehrerer Einzelschichten ermittelt werden. Mit einem speziellen Messkopf wird aus dem Schichtdickensensor ein Sensor für hochaufgelöste Abstandsmessungen.