Optische Messtechnik Halbleiterindustrie
State-of-the-Art Waferinspektion
Optische Messtechnik von Precitec ermöglicht eine hochpräzise und zerstörungsfreie Messung und Analyse von Semiconductor-Chips (Wafer). Die Sensoren liefern hochauflösend 3D-Daten, die eine Prüfung der Oberfläche bis ins kleinste Detail zulassen.
Der optische Liniensensor CHRocodile CLS erfasst die Daten mit bis zu 192 Messpunkten gleichzeitig. So wird in gleicher Zeit eine wesentlich größere Fläche erfasst als mit herkömmlichen Punktsensoren.
Unsere CHRocodile 2 IT-Geräte führen Dickenmessungen an Wafern, Klebungen und Schichtdicken mit sehr hohen Messraten durch. Dadurch wird ein höherer Durchsatz in der Produktion erreicht – bei gleichbleibend hoher Produktqualität. Die zuverlässigen Highspeed-Sensoren messen die Endpunktdicken in situ während der Prozesse in CMP, back grinding und spin etching.
Letztendlich verschafft die optische Messtechnik der Halbleiterindustrie eine effizientere Produktion mit reduziertem Ausschuss.
