Ultrapräzise berührungslose Dicken- und Abstandsmessungen
Wie Interferometrie funktioniert
Interferometer nutzen die Effekte, die auftreten, wenn zwei oder mehr Strahlen derselben Lichtquelle mit leicht unterschiedlicher Weglänge überlagert werden.
Das resultierende Spektrum und seine Modulationsfrequenz liefern die Abstands- oder Schichtdickendaten in Abhängigkeit von der Messaufgabe, auf die das System aufgebracht wird.
Durch Berechnung der Fourier-Transformation des Spektrums können Messungen bei Geschwindigkeiten bis zu 70 kHz durchgeführt werden.
Die Interferometrie eignet sich perfekt für großflächige Messungen, da die Genauigkeit der Messung nicht vom Abstand zum Objekt abhängt.
Vorteile der interferometrischen Sensoren
- Hochgeschwindigkeits-Inline-Inspektionen mit bis zu 70 kHz
- Unempfindlich gegen Hitze, Feuchtigkeit oder Vibrationen und daher geeignet für harte industrielle Umgebungen, sogar in Flüssigkeiten wie Wasser, Öl oder Säuren
- Geeignet zur Qualitätssicherung, Oberflächen- und Dickenmessung
- Einzigartige optische Technologie zur Messung von mehrschichtigem Verbundglas
- Extrem präzise Dickenmessung von 0,6 bis 15.000 µm
- Dickenmessung aller infrarottransparenten Materialien, z.B. bei Waferinspektionen
- Statischer oder beweglicher Messpunkt
- Passiver optischer Messkopf – kompakt und passiv, kein Verschleiß
Weitere Informationen, wie Sie von unseren interferometrischen Sensoren profitieren können, finden Sie auf unseren Produktdetailseiten.
