Industria dei semiconduttori
Ispezione wafer allo stato dell'arte
La nostra metrologia ottica non distruttiva offre una misurazione ad altissima precisione e un’analisi dei chip semiconduttori (wafers). I dati 3D ad alta risoluzione che questi sensori semiconduttori rilevano, permettono un controllo della topografia dei circuiti nei minimi dettagli.
I nostri sensori CHRomatici confocali di linea CHRocodile CLS rilevano fino a 192 punti di misura in prossimità. In questo modo la sonda ottica copre un'area notevolmente più ampia in un determinato tempo rispetto ai sensori tradizionali a punto.
La nostra serie CHRocodile 2 IT esegue misurazioni dello spessore su wafer, collature e strati a velocità elevate, per ottenere una maggiore produttività dei semiconduttori combinata con una qualità del prodotto più accurata e ripetibile.
Questi attrezzi High Speed affidabili effettuano una misurazione in loco degli spessori dei punti finali durante il trattamento sul posto di lavoro in CMP, back grinding e spin etching. In ultima analisi, il monitoraggio ottico rende i processi produttivi dei semiconduttori più efficienti, riducendo gli sprechi di materiale.
