半導体産業

当社の CHRomatic 共焦点ラインセンサー CHRocodile CLS は、近接する最大 192 の測定ポイントを測定するため、光学プローブは、一定の時間内に従来のポイントセンサーよりもはるかに広い領域をカバーできます。

当社の CHRocodile 2 IT シリーズは、ウエハー、接着剤、コーティングの厚さ測定を高速で実行し、より高い半導体生産のスループットと、正確で再現性のある製品品質を実現します。

これらの信頼性の高い高速ツールは、CMP、バックグラインド、およびスピンエッチングの処理中に、インサイチュでエンドポイントの厚さを測定します。最終分析では、光学モニタリングにより半導体製造プロセスがさらに効率的になり、材料の廃棄が削減できます。