ラインセンサー

CHRocodile CLS ラインセンサーは、工業製造用途での正確な 3D インライン検査に最適なツールです。センサーは、ラインに沿ってサンプルの超精密な距離と層厚データを提供します。サンプルの 3D 構造は、高速ラインスキャンにより非常に短時間で判別されます。ラインセンサーのクロマティック共焦点測定テクノロジーは、非常に高い横方向および軸方向の分解能のデータを提供し、あらゆる種類の材料の測定を可能にし、複雑な形状であってもシャドウイング効果なしに機能します。このラインスキャンセンサーの一般的なアプリケーションには、ディスプレイの測定や半導体チップのトポグラフィーの判別などがあります。

CHRocodile CLS 2Pro は、高速、長いライン長、高角度対応といった特徴を最適に組み合わせた、多用途の主力製品です。CHRocodile CLS 2 は、高速性と測定精度を兼ね備えています。CHRocodile CLS HS は、特に反射の少ないサンプルや表面での正確な測定が可能です。CLS 製品ファミリーは、幅広く多様な測定作業に適しており、同軸セットアップであるためシャドウイングがありません。