超精密なインライン品質管理
超高精度・非接触の CHRocodile CLS HS 共焦点ラインセンサーは、品質検査を目的とする比較的高速なインライン計測を実現します。優れた品質のこのデバイスは、高い側面分解能を持ち、チャンネルクロストークがありません。
適切な用途: CLS HS は、バンプ、ワイヤーボンド (20 µm 未満)、冠状動脈用ステントの検査や、カテーテルの測定に最適です。
アドバンテージ
- 傑出した側面分解能：
CLS HS ではさまざまな光学プローブを使用でき、最小 1 μm の傑出した側面分解能と短いラインの組み合わせを選ぶことも、8 mm までの長いラインとやや抑えた側面分解能の組み合わせを選ぶこともできます。 - シャドウイング効果なし：
このラインスキャナーの同軸技術では、入射光と検出光が同じ経路を通るため、入射ビームと検出ビームに角度の違いがありません。これにより、三角形のセットアップではシャドウイングが問題となるような形状においても測定が可能になりました。 - 高い開口数の光学プローブ：
粗さ、コプラナリティ、バンプの高さの測定など、どのような測定作業であっても対応できる多様な光学プローブを提供しています。高い開口数の光学プローブは、非接触により正確な距離と厚みを測定するのに最適です。これは鏡面状の表面では最大 44°、散乱面では最大 80° の角度で測定できます。 - 高速：
CHRocodile CLS HS は、最大 6,000 ライン/秒の測定速度による広い面積の高速インライン検査用に最適化されており、毎秒合計で 100 万を超える測定ポイントを実現しています。
- 角度の付いたバージョン：
角度の付いたバージョンの CHRocodile CLS HS はフットプリントが小さく、スペースが限られている検査機に最適です。
テクニカルデータ
- 測定レート (ライン/秒)：最大 6,000 ライン/秒
- 測定範囲：200 ～ 3,900 µm (使用する光学プローブに応じる)
- 側面分解能：1 ～ 8.5 µm (使用する光学プローブに応じる)
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