超精密な厚みと距離の測定

干渉計は、パス長がわずかに異なる同じ光源の 2 つ以上のビームが重ね合わされるときに発生する効果を利用します。

測定したスペクトルとその変調周波数には、システムが適用される測定タスクに応じて、距離または層の厚さのデータが含まれます。

干渉センサーの利点

• 最大 70 kHz の高速インライン検査
• 熱、湿度、振動の影響を受けないため、過酷な測定環境に適しており、水、油、酸などの液体中でも対応できます
• 品質保証、表面および厚さ測定に適しています
• 多層ラミネートガラスを測定できる唯一/独自の光学技術
• 0.6 〜 15,000 µm の超高精度厚さ測定
• すべての赤外線透過材料の厚さ測定 (ウエハー検査プロセスなど)
• 定点または移動する測定スポット
• パッシブ光学プローブ - コンパクトでパッシブ、摩耗なし

干渉センサーのメリットの詳細については、製品の詳細ページをご覧ください。