초정밀 두께 및 거리 측정

간섭계는 경로 길이가 약간 다른 동일한 광원의 두 개 이상의 빔이 중첩될 때 발생하는 효과를 활용합니다.

결과적 스펙트럼과 그 변조 주파수는 시스템이 적용되는 측정 작업에 따라 거리 또는 층 두께 데이터를 포함합니다.

간섭 측정 센서의 장점

• 최대 70 kHz의 고속 인라인 검사
• 열, 습기 또는 진동에 민감하지 않아 물, 기름 또는 산 등의 액체와 같이 혹독한 산업 환경에도 적합
• 품질 보증, 표면 및 두께 측정에 적합
• 다층 합판 유리를 측정할 수 있는 유일한 광학 기술
• 0.6 - 15,000 µm의 초정밀 두께 측정
• 모든 적외선 투과 재료의 두께 측정(예: 웨이퍼 검사 공정 시)
• 정적 또는 움직이는 측정 지점
• 패시브 광학 프로브 – 소형/패시브 작동, 마모 및 파손 없음

간섭 측정 센서의 이점을 누릴 수 있는 방법에 대한 자세한 내용은 제품 상세 페이지를 참조하십시오.