超精確的厚度和距離測量
干涉儀工作原理
當同一光源的兩個或多個路徑長度稍有不同的光束疊加時，干涉儀將利用此時產生的效應工作。
由此產生的光譜及其調製頻率包含了距離或層厚資料，具體情況取決於系統應用的測量任務。
透過計算光譜的傅立葉變換，可以確定速度高達 70 kHz 的測量。干涉測量法非常適用於大面積測量，因為測量的精度不受與物體的距離的影響。
干涉感測器的優勢
- 高速線上檢測，最高可達 70 kHz
- 不受高溫、潮溼或震動條件的影響，因此適用於惡劣的工業環境，即使在水、油或酸等液體中也沒有問題/li>
- 適用於品質保證、表面和厚度測量
- 此光學技術是唯一可以測量多層夾層玻璃的獨特方案
- 對 0.6 - 15,000 µm 的厚度測量非常精確
- 適合所有紅外透射材料的厚度測量，例如晶圓檢測過程中的測量
- 靜態或移動測量點
- 被動光學探頭 —— 結構緊湊且被動、無磨損
如果您想了解有關干涉感測器的更多資訊，請参阅产品詳細資料页面。
